光學微電子淨化工程|光學無塵車間工程|微電子潔淨室解決方案


光學微電子淨化工程之定義為將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給於特別設計之密閉空間。


萬級無塵室


光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室,目前已是半導體、精密製造、液晶製造、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由於技術之創新發展,對於產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究製造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處於領先地位。


光學微電子淨化工程一般包括:
1、 潔淨生產區
2、 潔淨輔助間(包括人員淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括淨化空調係統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)


光學微電子淨化工程淨化原理
氣流→初效淨化→空調→中效淨化→風機送風→管道→高效淨化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 回風百葉窗→初效淨化 重複以上過程,即可達到淨化目的。


光學微電子淨化工程淨化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。


光學微電子淨化工程結構材料
1. 淨化廠房牆、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板製造,其特點為美觀、剛性強。圓弧牆 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材製造。
2.地麵可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板製成,貼淨化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不鏽鋼框架,美觀清潔,衝孔網板用烤漆鋁板,不生鏽不粘塵,宜清潔。

 

電子潔淨廠房


光學微電子淨化工程解決方案:

淨化工程的設計過程中,應加強對光學微電子行業淨化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,並結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔淨度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種淨化方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。

 

1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

這是一個最傳統的淨化空調係統的設計方案。組合式空氣處理機組裏含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

優點

A.空氣處理效果好,因空氣經過集中處理,在送風過程中被汙染程度較低。送風的溫度、濕度的控製比較精確;

B.比較適用於有集中冷源的或是較大的廠房;

C.空調冷熱源可與廠房普通空調係統合用或獨立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車間的噪音低。

缺點

A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對於舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30m的機房的;

B.造價高。

特點

A.建議新風經過集中處理後再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

C.這類方案一般可以適用潔淨度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的淨化無塵廠房。

 

2、光學微電子行業淨化工程設計方案分析之水冷櫃機+增壓風櫃+高效送風口

與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的麵積,水冷櫃機可以根據具體的情況布置於較小機房內或淨化車間內,增壓風櫃也可以布置於機房內或吊在機房內或在夾層內。

優點

A.空氣處理效果較好的,處理過後的空氣在送風過程中被汙染程度低。送風的溫度、濕度控製效果可以達到較好的控製。主要在空氣處理機組(增壓風櫃)裏進行控製;

B.布置靈活。自帶冷源;

C.大小廠房、新舊廠房都適用;

D.維修頻率較低;

E.車間噪音低。

缺點

A.需要小麵積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

B.空調機組與空調處理機組要集中布置;

C.造價較低。特點:這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用於潔淨度為千級、萬級、十萬級等的淨化無塵廠房。

光學無塵車間

3、光學微電子行業淨化工程設計方案分析之分體空調櫃機++FFU送風口

這是最簡易的一個空調方案。是直接將分體空調櫃機布置於車間內,並用彩鋼圍護起來,在櫃機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置於吊頂天花。這個方案適用於對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。

優點:

A.不需要占用機房麵積,布置很靈活的;

B.可以滿足空氣的潔淨度;

C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40;

D.送風均勻度好。

缺點

A.溫濕度控製較差;

B.可以滿足空氣的潔淨度;

C.FFU的維修頻率高。

 

4、光學微電子行業淨化工程設計方案分析之無塵車間的特點

A、無塵車間的潔淨度:

LCD製屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→製屏終檢。

在本設計裏是指末端工藝的一些無塵車間,其淨化潔淨度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產品的衝壓車間、組裝等無塵車間,其潔淨度一般為萬級或十萬級。


B、室內空氣參數要求

(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%

(2)新風量大。由於這類車間內,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的最大值:非單向流潔淨室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h

(3)送風量大。為了滿足潔淨室內的潔淨度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數,是≥15/h)

潔淨機房


光學微電子行業淨化工程設計方案分析對於常規電子廠房潔淨室空調的設計,應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案,以滿足生產工藝的要求作為前提。根據以往經驗,對於要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對於要求不高的,又要初投資低的,可以選用櫃機+FFU。總之,具體的方案選擇根據具體情況而定。


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