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高精度恒溫恒濕潔淨室的控製設計參考-塗光備

文章來源:http://www.zzjyly.com/  2017年09月22日  點擊數:1375

一 前言

    高精度恒溫恒濕空調技術相對而言已比較成熟,但用於高級別的潔淨室卻是一個缺少實踐和經驗的課題。由於維持高級別潔淨度的需要,其通風量遠大於常規空調房間,因而使得潔淨室的高精度恒溫恒濕度控製具有其特殊性。

    為了滿足高級別與高精度雙重的技術指標,並維持良好的係統調節品質,同時還需考慮到降低初投資和日常運行費用等經濟因素,使設計的難度增加。本文以實際工程為例,從設計安裝與調試的全過程介紹在綜合解決上述問題時所采取的相應措施和方案,以及最終的實踐效果。


二 高精度恒溫恒濕潔淨室的技術要求及設計方案

  工程所承擔電子部某研究所的恒溫恒濕潔淨室(如圖1)主要技術指標如下:

潔淨級別:美國聯邦標準FS2209EM315級(即習慣采用的英製100級)

潔淨室有效空間:215m(L)×210m(W)×215m(H)

室內溫度:21±011℃

室內濕度:Φ55±5%

套間參數:潔淨度為美國聯邦標準FS2209EM615級(即習慣采用的英製

100000級)溫度為25±2℃

    受建築條件的限製,設計中考慮潔淨室氣流組織方案隻可采用水平平行流形式,由於氣流進行方向尺寸不大,斷麵風速設計值為0128m/s,較常規值略低而換氣次數已高達400AC/h。送風牆麵滿布高效空氣過濾器,相對的整個牆麵為回風格柵(如圖1),由於滿足恒溫恒濕精度要求的送風換氣次數遠小於淨化級別所需的通風換氣量,因此必然采用二次回風方案,空氣處理流程及空調方案如圖2,圖3所示如下:

潔淨室的控製設計參考" alt="高精度恒溫恒濕潔淨室的控製設計參考" />

    空氣處理流程為:新、回風一次混合後進入空調機,先經冷卻幹燥至機器露點K,再精調至O′,然後與回風二次混合至O點,再由潔淨室送風機經高效過濾器以S狀態送入室內。

    考慮到在二次回風後,設置有加壓風機,它能對經過空調機組處理的空氣(圖3中的K狀態點)與二次回風(空氣狀態N)起到充分的混合攪拌作用,因此不必擔心由於經空調機組處理的空氣與二次回風的溫濕度不同造成的送風溫濕度不均勻,而帶來的房間溫濕度精度不能滿足要求。因此空調機組的容量選取可完全根據房間熱濕負荷的需要,無需對其出風溫濕度作出某種限定

    由於潔淨室內設備和照明的熱濕負荷穩定,工作人員固定,套間又常年維持在25℃左右,通過圍護結構的傳熱量相當小而且波動也不大,所以總起來看室內熱濕負荷比較穩定,全年變化甚微,從這方麵看,對滿足室內溫濕度精度要求的控製是比較有利的條件。


三 恒溫恒濕潔淨室的控製

    自動控製的調節品質不僅決定於控製裝置,同時與被控對象的環節特性也有密切關係,由於潔淨室送風換氣次數大,使控製的難度加大,根據對上述兩方麵的綜合分析,得出本係統的溫度精度更不易保證的認識,因此本文主要以溫度分析為主。

1 從被控對象潔淨室來看,盡管它是

一個動態係統,但對其進行定性分析,其能量蓄存量的變化率為:


    由於潔淨室內熱濕負荷較穩定,送風量又遠大於一般空調係統,設計工況下,其送風溫差相對很小,所以在監控中對送風溫度不予考慮,而使用回風溫度作為調節的輸入。

    雖然空氣蓄熱係數很小,但因潔淨室的送風流率大,所以其熱容量也相當大,這對高精度的控製是不利的。有幸的是由於高級別潔淨室所采用的是水平平行流氣流方式,空氣的運動類似活塞流,使潔淨室內的空氣處於一個相對有序的狀態。氣流在潔淨室的行程因潔淨室的空間小,相對的送回風牆距離不大,空氣在潔淨室內滯留的時間很短,還不到10秒鍾,所以潔淨室的滯後影響並不大。(參考http://www.zzjyly.com/15/

2 從控製係統來看,其確定必須以被

    控對象的特性為基礎,潔淨室以回風溫度作為調節的輸入。從前麵分析看出,潔淨室的負荷和幹擾變化比較平和,同時考慮到初投資和運行費用,因此控製係統采用單回路控製方式。

    潔淨室同時有濕度要求,因此空氣處理過程必需包括除濕。由於本係統常年有餘熱餘濕,所以采用表冷器降溫同時去濕的方案。為對空氣參數進行靈敏精確的調節,在表冷器後設置電加熱器和電極式加濕器,雖然會發生熱濕負荷的抵消,增加能耗,但換來的是對比較難於調節的直接蒸發式表冷器可以不予控製,減少了控製環節。同時電加熱器和電極式加濕器滯後小,反應靈敏,便於控製,這在很大程度上改善了控製效果。

    控製規律的選擇,應著眼於使控製係統和被控對象能進行良好配合,PID參數

調節法在技術上已經很成熟,在單回路的空調控製中應用很廣泛,能解決空調係統中存在的滯後性大等問題,有效地消除靜差,提高係統的動態品質指標,其規律是:

    PID調節器輸出的是0—10mA連續信號,利用可控矽元件,調節電加熱器和電加濕器的電壓,使其功率可連續變化,這也是提高控製精度的一個有效方麵,具體控製方案如圖4所示

四 係統運行及調試

1 根據理論分析及設計計算,自行選購了散件,組裝了一台製冷空調機組,所選直接蒸發式表冷器的額定風量為2500m3/h,在製冷空調機組出口裝置了風閥,對流過機組的風量可進行調節,同時相應調節製冷量。在工程現場完工後,對係統進行調整時,通過實測數據可以明顯看出當開大風閥,風量增大,製冷量也相應增大,從節能的角度出發,在滿足潔淨室溫濕度參數要求的前提下,盡可能降低冷機製冷量,使其僅是略大於房間的熱濕負荷。通過反複調整測試,確定在製冷機組處理風量在2200m3/h左右時,潔淨室的溫濕度能很好地維持在T=21±011℃、Φ=55±5%範圍內波動。

2 潔淨室采用的是定值控製係統,在硬件完成後,PID調節器的參數整定是關鍵,在調試過程中,采用經驗試湊法,以被控對象的精度和穩定性作為調節的基本目標,經反複調試,得到了合適的PID參數,其中比例帶在013—014之間,最合適的積分時間為4—8秒的範圍,而微分作用在本係統中並不明顯,微分時間一般在0—3秒之間變化。

3 所自行設計的製冷空調機組與原設計方案所選定的5000m3/h的定型商用空調機組相比較,初投資減少約20%,運行費用減少30%,這證明了機組的設計在應用中是成功的。

五 結論和建議

1 小麵積高精度高級別的恒溫恒濕潔淨室送風量大,氣流在室內的滯留時間

短,而且熱濕負荷比較穩定,采用單回路的PID調節方法是可行的。但需要進行合理的設計和反複地進行調節,才能保證其所規定的各項技術參數達到要求。

2 PID調節器在很大程度上決定了係統的控製精度,在本係統裝置調節下,比例和積分調節起到關鍵作用,能完全滿足控製要求,而微分調節的作用較少,但對PID參數的選擇一定要根據現場實際情況進行分析,反複調節,並觀察一段時間,以求達到最佳效果。

3 執行器的調節必須采用連續調節的方式,占空比的調節方式給係統帶來脈衝擾動將使係統控製精度得不到保證。

4 應對空調係統進行優化設計,合理確定一、二次回風比,僅對部分回風進行處理的方法,即不影響係統的控製精度,又可降低初投資。


原文來源:http://www.zzjyly.com/

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