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無塵室測試規範

文章來源:http://www.zzjyly.com/  2012年07月06日  點擊數:5599

無塵室測試規範
 
有關無塵室定義、建造、控製、管理等等的國際標準,在網絡上用?contamination control?搜尋,可以找到很多相關數據。無塵室的定義,最早是在美國聯邦標準209上出現,之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。在歐洲與日本,隨著工業的日益發展,各國的版本也逐漸出現。到了90年代後期,產業界體認到若是無共同標準,就不能實現經濟的全球化,於是有ISO-14644的產生。以下說明無塵室的各種標準與規範。


1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美國聯邦標準209E,209的出版發行,是在1960年代,之後不斷改版以因應科技進步與工業發展,版本從原始的209、209A,一直到1992年的最後一版209E。在2001年11月29日,美國正式宣布廢止209E,改用ISO-14644,於是209E在書麵上走入曆史。但是在產業界,除了部份的歐洲公司之外,美國、日本、台灣、與中國大陸,都還沿用209E。微粒計數器的製造商,雖然都推出滿足公製計數法的新機型,但是要等舊機器完全淘汰,恐怕還要很長時間,因此新規範ISO-14644還沒能取代209E。


2.SO-14644係列;美國政府為了推動經濟全球化,就很大方的放棄了自己的209E,改而推行全部使用公製的國際標準ISO-14644。14644係列有8個子題〈Part〉,稱為14644-1,14644-2,一直到14644-8。整個係列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其它的有關設備等,範圍很廣。有些主題已經定案,如Part 1和Part 2,有些隻有初稿〈Draft〉,有些連初稿都還沒有,讀者可以到ISO或IEST的網站上訂購。
3.JIS B9920 (1989):日本的潔淨標準,規定無塵室中浮遊粒子的濃度測定方式,及潔淨度的等級定義。
4.VDI 2083 (1993):德國的潔淨標準,規定潔淨度等級的定義方式,以及潔淨度的量測技術。
5.Gost-R 50766 (1995):俄國的潔淨標準,定義無塵室的分類與一般需求。
 
以上是無塵室等級規定,與潔淨度量測的相關標準。另外有關無塵室汙染控製〈也就是潔淨度控製〉,和環境控製〈如溫濕度、震動噪音等〉,也有一些重要的測試規範,因為這些環境影響因素,都包含在無塵室性能測試的範圍之內。
1.IEST-RP-CC-006.2:這本有名的測試規範,目的就是為了補209的不足。209隻有微粒量測,006 包括了風速風量、濾網泄漏、潔淨度、溫濕度、平行度、恢複率、粒子沉降測試、照度等。006 的第一版稱為006-84-T,006.2是第二版。現在由於 NEBB 的興起,0062已經功成身退,逐漸消失了。


2.NEBB 無塵室測試規範第二版:這是目前最廣為流行的測試規範,提到無塵室認證,就非 NEBB 莫屬。NEBB 無塵室測試規範,可說是IEST-0062的改良版,其測試涵蓋範圍差不多,但是測試程序更為清楚嚴謹,儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB 無塵室測試規範的出現,解決了不少測試的爭議,也因此 NEBB 無塵室測試規範成功的成為產業標準。有關 NEBB,請參照本站 NEBB。


3.ISO-14698 係列:14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三個子題,是有關無塵室裏麵生物汙染的控製,目前都隻有初稿。
每一種行業,甚至每一家公司或工廠,對無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測試規範,雖然以可滿足大部份廠商的需求,但是嚴格來講,這些規範也隻是一個參考。各公司在訂定測試規格時,應依照自己的製程需求,在上述規範裏取出自己適用的部份,並要求供貨商與測試單位照辦,必要時可以酌情修改測試標準,才能真正滿足自己的需求。

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