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日本潔淨室標準 JIS B 9920潔淨度等級表

文章來源:http://www.zzjyly.com/  2018年01月06日  點擊數:6198

無塵室的應用,大致可分為二類,即工業用無塵室〈Industrial Clean Room〉簡稱ICR ,和生化及醫藥用無塵室〈Biological Clean Room〉簡稱 BCR。                            

在工業用無塵室其清淨度規格方麵,有美國聯邦標準規格 FS209E〈U.S Federal Standard 209E〉及日本國家標準 JIS B 9920 等多種參考規範。

在生化、醫藥用無菌室其要求規格有美國航空太空總署〈NASA〉規範〈NHB 5340.2〉最為普遍。無塵室的設計通常依照使用需求情況加以檢討再決定采用何種規範作為基準。

 

JIS B 9920標準無塵等級的濃度上限 (pcs/m3)

粒徑 無塵等級
(μm) class 1 class 2 class 3 class 4 class 5 class 6 class 7 class 8
0.1 101 102 103 104 105 (106) (107) (108)
0.2 2 24 236 2360 23600 ???? ???? ????
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (35) (0.3) 35 350 3500 55000 350000 3500000
5 ???? ???? ???? ???? 29 290 2900 29000
無塵等級 0.1~0.3 0.1~0.5 0.1~5.0 0.3~5.0
粒徑範圍
附注 1 第3A5,6,7和8級相當於美國聯邦標準209D(無塵室和控製環境的工作站)相對的第1,100,1000,10000和100000。
2 濃度的上限代表等於或大於指定顆粒大小的灑度。
3 濃度的上限是指顆粒大小為0.1μm和0.5μm的量。
4 在括弧中的數字是指顆粒大小不同民指定大小的量,它們隻供評估無塵等級和隻當參考用而已。
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