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OLED潔淨工程管理要點

文章來源:http://www.zzjyly.com/  2018年05月12日  點擊數:2423

OLED 器件是在潔淨室內進行生產的,潔淨室工程質量好壞,決定著生產線產品合格率的高低,進而影響產品成本。

我公司承建了一個OLED 實驗線潔淨室工程,本文將係統介紹該潔淨室工程管理的要點。

1 工程概況

該項目主廠房生產區域為兩層鋼筋混凝土框架結構及鋼屋架結構,混凝土屋麵采用柔性高分子卷材屋麵, 鋼結構屋麵采用機械固定的卷材屋麵方式,一層層高4.8 m,二層層高6.4 m,一層技術下夾層與二層生產區之間的樓板采用華夫板方式,利用華夫板上的開洞滿足兩層之間的回風,華夫板上設置導電性架空地板,設備根據工藝要求布置在架空地板或華夫板上。

2 設施布局

一層主要包括的功能房間為技術下夾層,回風夾道,沿下夾層區域四周布置有門廳、換鞋區、一更、化學品供應、特氣供應、廢液收集、廢水提升站、冷卻循環水站、純水拋光間、真空間、變電站、物料暫存間、成品暫存間等。

二層是大開間的工藝生產區,布置生產設備。該層與技術下夾層之間的結構樓板是有一定開孔率的華夫板,華夫板上方安裝架空活動地板,以滿足回風的要求;生產設備層的吊頂安裝風機過慮器單元(FFU),以滿足生產層淨化要求。

二層核心淨化區包括的區域有 PVD/CVD、光刻間、掩模清洗、注入間、RTA、ELA、CVD、基板清洗間、小片切割、蒸鍍、劃片、UV 硬化、基板切割間、探針、陣列檢測間、緩衝間、有機庫、FMM庫、QA、回風夾道等,核心淨化區周圍的其它功能房間包括有空調機房、電氣室、配電室、維修間、材料庫等。在核心淨化生產區的兩側設計回風、管道豎井,形成淨化空氣的循環回路。並且在建築的兩邊各設計多部樓梯,形成各層對室外的疏散通道為滿足淨化生產的微振要求,二層的樓板——華夫板擬采用較厚的穿孔樓板結構,華夫板麵刷環氧樹脂塗料,為滿足生產工藝的靈活布置並提高淨化麵積的使用效率,生產人員經主入口門廳進入換鞋區,再進入一次更衣,通過員工專用樓梯進入二層二次更衣室,再通過風淋室進入生產區。

潔淨室空調係統由 MAU(新風處理係統)+FFU+ 幹盤管共同構成。生產區吊頂由風機過濾單元(FFU)與金屬吊頂框架組成,FFU 視各生產機台需要之等級均布,覆蓋率隨生產工藝需求而定。新風由 MAU(新風處理係統)集中處理後與室內的循環風混合,經FFU 加壓、過濾後送入生產區。生產區內設備、人員、照明、圍護結構等冷負荷均由幹盤管承擔。潔淨室內濕度及正壓控製由 MAU 負責。MAU 供風量需求約 50000CMH×2+1 台,潔淨室循環風量約773000 CMH。新風入口附設不織布濾網及庫板隔間氣室於新風空調機組入口前,延長主要濾網壽命。

在化學品庫、氣體間設置獨立的空調係統,新風經處理後送入室內,然後通過排風係統全部排至室外,空氣不循環使用。

工藝排風係統:在工藝生產過程中會產生含酸、堿、有機溶劑、高沸點有機、有害等廢氣。為保護生產人員的健康,減少對工作環境及廠區周圍空氣的汙染,分別設計了相應的局部排風係統、全室排風係統及廢氣處理係統。為消除工藝生產區工藝設備等散發的熱量所設計的局部排風係統、全室排風係統的排風不需處理可直接排入大氣。為消除工藝生產區工藝設備散發的含酸、堿、有機溶劑、高沸點有機、有害等廢氣的局部排風係統,排風須先經廢氣洗滌塔等廢氣處理裝置處理,達到國家排放標準後才能排入大氣。工藝排風係統排風機風量設定約 S T R 4 0 0 C M H × 1 + 1 台;G E X - D18000CMH×1+1台;EX-W & GEX-H 12300CMH×1台,備用機與 GEX-D共用;SEX 16 000CMH×1+1台;ORG 4 000 CMH×1+1 台,所有工藝排風機均帶變頻器。

防、排煙係統:對於大於300 m2的地上房間、長度大於 40 m的疏散走道、長度大於20 m的內走道設置消防排煙係統。以高度為50 cm的擋煙垂壁劃分防煙分區,最大防煙分區的麵積為500 m2。排煙風機的風量為 72 000 m3/h(60 000×1.2 倍)。密閉房間設置機械排煙係統時,同時設置機械補風係統,補風量為排煙量的50%。防煙樓梯間及其前室、消防電梯前室或合用前室設置防煙設施。

3 潔淨等級要求

核心淨化區 0.3 ìm、ISO 5.5,輔助區域 0.3ìm、ISO 6. 5。其工序環境參數見表1 。

4 施工重點分析

4.1 建設過程必須遵循潔淨室建設四項原則

(1)不帶入。

(2)不產生。

(3)不積累。

(4)快速去除。

不帶入,就是不向潔淨室帶人任何灰塵,必須確保以下條件:

(1)高效過濾器與結構不產生灰塵泄漏。

(2)保持潔淨室正壓。

(3)人員經更衣換鞋、風淋後方可進入潔淨室

(4)材料與設備經清洗後方可進入潔淨室。不產生,就是不在潔淨室產生任何灰塵,必須確保以下條件:

(1)人員應穿潔淨服。

(2)不使用容易產生灰塵的材料與設備。

(3)不進行不必要的移動。

(4)不帶入無用品。不積累,就是不在潔淨室積累任何灰塵,必

須確保以下條件:

(1)不使設備角和四周清潔困難。

(2)潔淨室盡量不暴露風管和管道。

(3)遵守標準化淨化工作程序。

快速去除,就是快速去除潔淨室內灰塵,必

須做到以下幾點:

(1)增加換氣率。

(2)在靠近產生灰塵的地方設置排氣裝置。

(3)采用合適的氣流形式以避免灰塵粘在產品上。

4.2 基於以上原則,潔淨室施工重點工作

做好潔淨室氣密隔絕,將潔淨室與外界完全隔離,確保外界汙染物不能進入潔淨室範圍,在正式內裝圍護結構未完成前,先做臨時隔離設施。

建立三級潔淨管製,確保施工各階段符合相應淨化管製標準。

高架地板開孔率計算及孔板、盲板分布。為保證華夫板回風均勻,從回風夾道向另一側盲板的分布率遞減以平衡氣流,防止短路。

確保內裝圍護結構的嚴密性,潔淨區外圍牆體、頂板必須保持嚴密,嚴禁外氣泄漏進入潔淨室。確保回風夾道的密閉,包括幹盤管牆的密閉及回風夾道圍護結構的氣密性,以保證幹盤管的斷麵風速、風量要求,同時防止氣流短路,未經幹盤管直接進入靜壓箱。

進入二級潔淨管製階段,盡快在潔淨室內建立正壓,方法是利用新風機組為室內提供新風,建立正壓,在新風機外部的新風吸入口加設無紡布過濾新風,以延長新風機內初、中效過濾器的使用壽命。

潔淨室施工完成後,經過調試、檢測,潔淨室各項數據均符合設計指標。

5 結語

通過對本項目施工實踐的總結,驗證了項目潔淨管理重點的正確性,潔淨室施工管理,要嚴格遵循潔淨室建設四項原則,可確保潔淨室工程建設的成功。

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