潔淨室標準規範
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潔淨廠房設計規範(GB 50073-2001)(新版潔淨室設計標準全文)

文章來源:http://www.zzjyly.com/  2012年07月12日  點擊數:62873
中華人民共和國國家標準潔淨廠房設計規範

Code for design of clean room GB 50073-2001


主編部門:中華人民共和國信息產業部

批準部門:中華人民共和國建設部

施行日期:2002年1月1日


關於發布國家標準《潔淨廠房設計規範》的通知

建標[2001]231號

根據國家計委“關於印發《一九九二年工程建設國家標準製訂、修訂計劃》的通知”(計綜合[1992]490號)的要求,由信息產業部會同有關部門共同修訂的《潔淨廠房設計規範》,經有關部門會審,批準為國家標準,編號為GB 50073-2001,自2002年1月1日起施行。其中,3.0.1、4.2.2、4.2.3、4.3.1、4.3.2(1款)、4.3.3(1、2、4、5款)、4.3.4(1款)、4.3.7、4.4.1、4.4.3、4.4.4、4.5.1、5.2.1、5.2.2、5.2.3、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.1、5.3.2(1、2款)、5.3.3(1、2款)、5.3.5(1款)、5.3.7(1款)、5.3.10、6.1.4、6.1.5、6.2.1、6.2.2、6.2.4、6.3.1(1、3、4款)、6.3.2、6.3.3、6.4.1(1、2、3、4款)、6.5.1、6.5.2、6.5.3、6.5.4、6.5.5、6.5.6、6.5.7、6.6.2、6.6.4、6.6.6、7.2.2、7.3.1、7.3.2、7.3.3(1、4款)、7.4.1、7.4.2、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2款)、8.1.1、8.1.3、8.1.5、8.1.9(2、3款)、8.4.1、8.4.2、8.4.3、8.4.4、8.4.5、9.2.2、9.2.3、9.2.6(1款)、9.2.7、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.1、9.4.3、9.5.2、9.5.3、9.5.4、9.5.5、9.5.6、9.5.7為強製性條文,必須嚴格執行。原國家標準《潔淨廠房設計規範》(GBJ 73-84)同時廢止。

本規範由中華人民共和國信息產業部負責管理,中國電子工程設計院負責具體解釋工作,建設部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發行。

中華人民共和國建設部

二○○一年十一月十三日

GB50073-2001潔淨廠房設計規範


前 言

本規範是根據建設部、計委計綜合[1992]490號和[1992]建標字第10號文的要求,由我部負責主編。具體由中國電子工程設計院會同有關單位共同對《潔淨廠房設計規範》GBJ 73-84修訂而成。在修訂過程中,修訂組結合我國潔淨廠房設計建造和運行的實際情況,進行了廣泛的調查研究和必要的測試工作,認真總結了《潔淨廠房設計規範》GBJ 73-84執行10多年來的經驗,等效采用國際標準ISO14644-1《潔淨室及相關受控環境,第一部分—空氣潔淨度等級》的潔淨度等級。廣泛征求了全國有關單位的意見,最後由我部會同有關部門審查定稿。

本規範共9章和4個附錄。其主要內容有:總則、術語、空氣潔淨度等級、總體設計、建築、空氣淨化、給水排水、氣體管道、電氣等。

本規範在執行過程中,希望各行業、各單位結合工程實踐,認真總結經驗,如發現需要修改和補充之處,請將意見和有關資料寄交北京市海澱區萬壽路27號中國電子工程設計院《潔淨廠房設計規範》管理組(郵編:100840傳真:010-68217842 E-mail:www.ceedi@ceedi.com),以供今後修訂時參考。

本規範主編單位、參編單位和主要起草人:

主編單位:中國電子工程設計院
參編單位:信息產業部第十一設計研究院 中國石油化工集團上海醫藥工業設計院 中國建築科學研究院
主要起草人:劉存宏 陳霖新 張利群 王唯國 繆德驊 郝錫澤 趙 海 俞渭雄 周春海 晁 陽 賀繼行陸 原 肖紅梅 樊勖昌 譚易和 黃德明 郭興周 冷捷敏 馮佩明


1  總則

1.0.1潔淨廠房設計必須做到技術先進、經濟適用、安全可靠、確保質量,並應符合節約能源、勞動衛生和環境保護的要求。

1.0.2本規範適用於新建、擴建和改建潔淨廠房的設計。

1.0.3潔淨廠房設計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創造必要的條件。

1.0.4潔淨廠房設計除應按本規範執行外,尚應符合現行的有關強製性國家標準、規範的規定。

2  術語

2.0.1潔淨室clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控製。

2.0.2潔淨區clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子。空間內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控製。潔淨區可以是開放式或封閉式。

2.0.3移動式潔淨小室clean booth
可整體移動位置的小型潔淨室。有剛性或薄膜圍檔兩類。

2.0.4人身淨化用室room for cleaning human body
人員在進入潔淨區之前按一定程序進行淨化的房間。

2.0.5物料淨化用室room for cleaning material
物料在進入潔淨區之前按一定程序進行淨化的房間。

2.0.6粒徑partical size
由給定的粒子尺寸測定儀響應當量於被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。

2.0.7懸浮粒子airborne particles
用於空氣潔淨度分級的空氣中懸浮粒子尺寸範圍在0.1~5μm的固體和液體粒子。

2.0.8超微粒子ultrafine particle
具有當量直徑小於0.1μm的粒子。

2.0.9微粒子macroparticle
具有當量直徑大於5μm的粒子。

2.0.10粒徑分布particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布,是粒徑的函數。

2.0.11含塵濃度particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。

2.0.12潔淨度cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數量來區分的潔淨程度。

2.0.13氣流流型air pattern
對室內空氣的流動形態和分布進行合理設計。

2.0.14單向流unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線並且橫斷麵上風速一致的氣流。

2.0.15垂直單向流vertical unidirectional airflow
與水平麵垂直的單向流。

2.0.16水平單向流horizontal unidirectional airflow
與水平麵平行的單向流。

2.0.17非單向流non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。

2.0.18混合流mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。

2.0.19潔淨工作區clean working area
指潔淨室內離地麵高度0.8~1.5m(除工藝特殊要求外)的區域。

2.0.20空氣吹淋室air shower
利用高速潔淨氣流吹落並清除進入潔淨室人員表麵附著粒子的小室。

2.0.21氣閘室air lock
設置在潔淨室出入口,阻隔室外或鄰室汙染氣流和壓差控製而設置的緩衝間。

2.0.22傳遞窗pass box
在潔淨室隔牆上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。

2.0.23潔淨工作台clean bench
能夠保持操作空間所需潔淨度的工作台。

2.0.24潔淨工作服clean working garment
為把工作人員產生的粒子限製在最小程度所使用的發塵量少的潔淨服裝。

2.0.25空態as-built
設施已經建成,所有動力接通並運行,但無生產設備、材料及人員。

2.0.26靜態at-rest
設施已經建成,生產設備已經安裝,並按業主及供應商同意的狀態運行,但無生產人員。

2.0.27動態operational
設施以規定的狀態運行,有規定的人員在場,並在商定的狀況下進行工作。

2.0.28檢漏試驗leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。

2.0.29高效空氣過濾器HEPA(high efficiency particulate airfilter)
在額定風量下,對粒徑大於等於0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

2.0.30超高效空氣過濾器ULPA(ultra low penetration airfilter)
在額定風量下,對粒徑0.1~0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。

2.0.31純水purity water
對電解質雜質含量(常以電阻率表征)和非電解質雜質(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均有要求的水。

2.0.32防靜電環境ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環境,在這一環境中不易產生靜電,靜電產生後易於消散或消除,靜電噪聲難以傳播。

2.0.33表麵電阻surface resistance
在材料的表麵上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩態電流之商。

2.0.34體積電阻volume resistance
在材料的相對兩表麵上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩態電流之商。該電流不包括沿材料表麵的電流。

2.0.35表麵電阻率surface resistivity
在材料表麵層的直流電場強度與穩態電流線密度之商。其量綱為Ω/□。

2.0.36體積電阻率volume resistivity
在材料內層的直流電場強度與穩態電流密度之商。其量綱為Ω?cm。

2.0.37專用消防口fire-firing access
消防人員為滅火而進入建築物的專用入口,平時封閉,使用時由消防人員從室外打開。

2.0.38自淨時間cleanliness vecoverly characteristic
潔淨室被汙染後,淨化空調係統開始運行至恢複到穩定的規定室內潔淨度等級的時間。

2.0.39生物潔淨室biological cleanroom
潔淨室空氣中懸浮微生物控製在規定值內的限定空間。

2.0.40浮遊菌airborne viable particles
潔淨室懸浮在空氣中的菌落。

2.0.41沉降菌colony forming unit
潔淨室降落在培養皿上的菌落。

3  空氣潔淨度等級

3.0.1潔淨室及潔淨區內空氣中懸浮粒子潔淨度等級應按表3.0.1確定。

空氣潔淨度等級表

3.0.2空氣潔淨度等級所處狀態(空態、靜態、動態)應與業主協商確定。

3.0.3空氣潔淨度的測試方法按附錄C要求進行。

4  總體設計

4.1潔淨廠房位置選擇和總平麵布置

4.1.1潔淨廠房位置的選擇,應根據下列要求並經技術經濟方案比較後確定:

1應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環境較好的區域。
2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣汙染、振動或噪聲幹擾的區域。如不能遠離嚴重空氣汙染源時,則應位於最大頻率風向上風側,或全年最小頻率風向下風側。
3應布置在廠區內環境清潔、人流、物流不穿越或少穿越的地段。

4.1.2對於兼有微振控製要求的潔淨廠房的位置選擇,應實際測定周圍現有振源的振動影響,並應與精密設備、精密儀器儀表容許振動值分析比較後確定。

4.1.3潔淨廠房與交通幹道之間的距離宜大於50m。

4.1.4潔淨廠房周圍宜設置環形消防車道(可利用交通道路),如有困難,可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。

4.1.5潔淨廠房周圍的道路麵層,應選用整體性能好、發塵少的材料。

4.1.6潔淨廠房周圍應進行綠化。可鋪植草坪,不應種植對生產有害的植物,並不得妨礙消防作業。

4.2工藝平麵布置和設計綜合協調

4.2.1工藝平麵布置應符合下列要求:

1工藝平麵布置應合理、緊湊。潔淨室或潔淨區內隻布置必要的工藝設備,以及有空氣潔淨度等級要求的工序和工作室。
2在滿足生產工藝和噪聲要求的前提下,空氣潔淨度等級高的潔淨室或潔淨區宜靠近空氣調節機房,空氣潔淨度等級相同的工序和工作室宜集中布置。
3潔淨室內要求空氣潔淨度等級高的工序應布置在上風側,易產生汙染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。
4應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線,並預留設備安裝口和檢修口。
5不同空氣潔淨度等級房間之間聯係頻繁時,宜設有防止汙染的措施,如緩衝間、氣閘室、傳遞窗等。
6應設置單獨的物料入口,物料傳遞路線應最短,物料進入潔淨區之前必須進行清潔處理。

4.2.2潔淨廠房的平麵和空間設計,應滿足生產工藝和空氣潔淨度等級要求。潔淨區、人員淨化、物料淨化和其它輔助用房應分區布置。同時應考慮生產操作、工藝設備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及淨化空調係統各種技術設施的綜合協調。

4.2.3潔淨廠房內應少設隔間,但在下列情況下應予分隔:

1按生產的火災危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區段之間,或有防火分隔要求者。
2生產聯係少,並經常不同時使用的兩個生產區段之間。

4.2.4在滿足生產工藝和空氣潔淨度等級要求的條件下,潔淨廠房內各種固定技術設施(如送風口、照明器、回風口、各種管線等)的布置,應優先考慮淨化空調係統的要求。

4.3人員淨化和物料淨化

4.3.1潔淨廠房內應設置人員淨化、物料淨化用室和設施,並應根據需要設置生活用室和其它用室。

4.3.2人員淨化用室和生活用室的設置應為:

1人員淨化用室,應包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔淨工作服等房間。
2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和幹燥間等其它用室,可根據需要設置。

4.3.3人員淨化用室和生活用室的設計,應符合下列要求:

1人員淨化用室的入口處,應設淨鞋措施。
2存外衣和更潔淨工作服應分別設置。
3外衣存衣櫃應按設計人數每人設一櫃,潔淨工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔淨櫃內。
4盥洗室應設洗手和烘幹設施。
5空氣吹淋室應設在潔淨區人員入口處,並應與潔淨工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數每30人設一台。潔淨區工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設旁通門。
6當為5級以上垂直單向流潔淨室時,宜設氣閘室。
7潔淨區內不宜設廁所。人員淨化用室內的廁所應設前室。

4.3.4人流路線應符合下列要求:

1人流路線應避免往複交叉。
2人員淨化用室和生活用室的布置,宜按圖4.3.4的人員淨化程序進行布置。

潔淨室人員淨化程序

4.3.5根據不同的空氣潔淨度等級和工作人員數量,潔淨廠房內人員淨化用室和生活用室的建築麵積應合理確定。一般宜按潔淨區設計人數平均每人2~4m2計算。潔淨工作服更衣室的空氣潔淨度等級宜按低於相鄰潔淨區空氣潔淨度等級1~2級設置。

4.3.6潔淨工作服洗滌室的空氣潔淨度等級不宜低於8級。

4.3.7潔淨室內設備和物料出入口,應根據設備和物料的性質、形狀等特征設置物料淨化用室及其設施。物料淨化用室的布置,應防止淨化後物料在傳遞過程中被汙染。

4.4噪聲控製

4.4.1潔淨室內的噪聲級(空態),非單向流潔淨室不應大於60dB(A),單向流、混合流潔淨室不應大於65dB(A)。

4.4.2潔淨室的噪聲頻譜限製,應采用倍頻程聲壓級;各頻帶聲壓級值不宜大於表4.4.2中的規定。

潔淨室換氣控製表

4.4.3潔淨廠房的平、剖麵設計應考慮噪聲控製要求。潔淨室的圍護結構應具有良好的隔聲性能,並使各部分隔聲量相接近。

4.4.4潔淨室內的各種設備均應選用低噪聲產品。對於輻射噪聲值超過潔淨室允許值的設備,應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。

4.4.5淨化空調係統噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔振等控製措施。潔淨室內的排風係統除事故排風外應進行減噪設計。

4.4.6淨化空調係統,根據室內容許噪聲級要求,風管內風速宜按下列規定選用。

1總風管為6~10m/s。
2無送、回風口的支風管為4~6m/s。
3有送、回風口的支風管為2~5m/s。

4.5微振控製

4.5.1對有微振控製要求的潔淨廠房設計時應考慮:

1在結構選型、隔振縫設置、壁板與地麵及頂棚連接處,應按微振控製要求設計。
2潔淨室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及其連接管道,應采取主動隔振措施。
3應確定潔淨廠房內外各類振源對潔淨廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。

4.5.2精密設備、精密儀器儀表的容許振動值,應由生產工藝和設備製造部門提供。當生產工藝和設備製造部門難以提供容許振動值時,可參照《隔振設計規範》GBJ 22執行。

4.5.3精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應具備下列條件:

1周圍振源對其綜合影響的振動數據。
2設備、儀器儀表的型號、規格及輪廓尺寸圖。
3設備、儀器儀表的質量、質心位置及質量慣性矩。
4設備、儀器儀表的底座外輪廓圖、附屬裝置、管道位置及坑、溝、孔洞尺寸、地腳螺栓及預埋件位置等。
5設備、儀器儀表的調平要求。
6設備、儀器儀表的容許振動值。
7所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術參數、外形尺寸及安裝條件。

4.5.4精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應考慮:

1隔振台座的剛度。
2設備、儀器儀表運行時,由於質量及質心位置的變化引起隔振台座傾斜的校正措施。
3隔振係統各向阻尼比不應小於0.15。
4隔振措施不應影響潔淨室內的氣流流型。

4.5.5精密設備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應空氣彈簧用的氣源應進行淨化處理。

5  建築

5.1一般規定

5.1.1潔淨廠房的建築平麵和空間布局應具有適當的靈活性。主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內牆承重體係。

5.1.2潔淨廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵等要求。

5.1.3潔淨廠房主體結構的耐久性應與室內裝備和裝修水平相協調,並應具有防火、控製溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔淨區。

5.1.4送、回風管和其它管線暗敷時,應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時,宜設置技術豎井,其形式、尺寸和構造應滿足風道、管線的安裝、檢修和防火要求。

5.1.5對兼有一般生產和潔淨生產的綜合性廠房,其平麵布局和構造處理,應避免人流、物流運輸及防火方麵對潔淨生產帶來不利的影響。

5.2防火和疏散

5.2.1潔淨廠房的耐火等級不應低於二級。

5.2.2潔淨廠房內生產工作間的火災危險性,應按照現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)分類。潔淨廠房生產工作間的火災危險性分類舉例見附錄A。

5.2.3甲、乙類生產的潔淨廠房宜為單層,其防火分區最大允許建築麵積,單層廠房宜為3000m2,多層廠房宜為2000m2。丙、丁、戊類生產的潔淨廠房其防火分區最大允許建築麵積應符合現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)的規定。

5.2.4潔淨室的頂棚和壁板(包括夾芯材料)應為不燃燒體,且不得采用有機複合材料。頂棚的耐火極限不應低於0.4h,疏散走道頂棚的耐火極限不應低於1.0h。

5.2.5在一個防火分區內的綜合性廠房,其潔淨生產與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷措施。隔牆及其相應頂棚的耐火極限不應低於1h,隔牆上的門窗耐火極限不應低於0.6h。穿隔牆或頂棚的管線周圍空隙應采用防火或耐火材料緊密填堵。

5.2.6技術豎井井壁應為不燃燒體,其耐火極限不應低於1h。井壁上檢查門的耐火極限不應低於0.6h;豎井內在各層或間隔一層樓板處,應采用相當於樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔;穿過水平防火分隔的管線周圍空隙,應采用防火或耐火材料緊密填堵。

5.2.7潔淨廠房每一生產層、每一防火分區或每一潔淨區的安全出口數目不應少於2個,但符合下列要求的可設1個:

1對甲、乙類生產廠房每層的潔淨區總建築麵積不超過50m2,且同一時間內的生產人數不超過5人。
2對丙、丁、戊類生產廠房,應按現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)的規定設置。

5.2.8安全出口應當分散布置,從生產地點至安全出口不應經過曲折的人員淨化路線,並應設有明顯的疏散標誌,安全疏散距離應符合現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)的規定。

5.2.9潔淨區與非潔淨區、潔淨區與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟,並加閉門器。安全疏散門不應采用吊門、轉門、側拉門、卷簾門以及電控自動門。

5.2.10潔淨廠房與潔淨區同層外牆應設可供消防人員通往廠房潔淨區的門窗,其洞口間距大於80m時,應在該段外牆的適當部位設置專用消防口。

專用消防口的寬度應不小於750mm,高度應不小於1800mm,並應有明顯標誌。樓層的專用消防口應設置陽台,並從二層開始向上層架設鋼梯。

5.2.11潔淨廠房外牆上的吊門、電控自動門以及寬度小於750mm、高度小於1800mm或裝有柵欄的窗,均不應作為火災發生時提供消防人員進入廠房的入口。

5.3室內裝修

5.3.1潔淨廠房的建築圍護結構和室內裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。

5.3.2潔淨室內牆壁和頂棚的裝修應符合下列要求:

1潔淨室內牆壁和頂棚的表麵應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便於除塵,並應減少凹凸麵。
2踢腳不應突出牆麵。
3潔淨室不宜采用砌築牆抹灰牆麵,當必須采用時宜幹燥作業,抹灰應采用高級抹灰標準。牆麵抹灰後應刷塗料麵層,並應選用難燃、不開裂、耐清洗、表麵光滑、不易吸水變質發黴的塗料。

5.3.3潔淨室地麵設計應符合下列要求:

1潔淨室地麵應滿足生產工藝要求。
2潔淨室地麵應平整,耐磨、易清洗,不易積聚靜電,避免眩光,不開裂等。
3地麵墊層宜配筋,潮濕地區墊層應做防潮構造。

5.3.4潔淨廠房技術夾層的牆壁和頂棚表麵應平整、光滑,位於地下的技術夾層應采取防水或防潮、防黴措施。

5.3.5潔淨室(區)外窗設計應符合下列要求:

1當潔淨室(區)和人員淨化用室設置外窗時,應采用雙層玻璃固定窗,並應有良好的氣密性。
2靠潔淨室室內一側窗不宜設窗台。

5.3.6潔淨室內的密閉門應朝空氣潔淨度較高的房間開啟,並加設閉門器,無窗潔淨室的密閉門上宜設觀察窗。

5.3.7潔淨室門窗、牆壁、頂棚等的設計應符合下列要求:

1潔淨室門窗、牆壁、頂棚、地(樓)麵的構造和施工縫隙,均應采取可靠的密閉措施。
2當采用輕質構造頂棚做技術夾層時,夾層內宜設檢修通道。
3潔淨室窗宜與內牆麵齊平,不宜設窗台。

5.3.8潔淨室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表麵材料的光反射係數:頂棚和牆麵宜為0.6~0.8,地麵宜為0.15~0.35。

5.3.9對8級以上的潔淨室,其牆板和頂棚宜采用輕質壁板構造。

5.3.10設計選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現行國家標準《建築內部裝修設計防火規範》(GB 50222)的規定

6  空氣淨化

6.1一般規定

6.1.1潔淨廠房內各潔淨室的空氣潔淨度等級應滿足生產工藝對生產環境的潔淨要求。

6.1.2根據空氣潔淨度等級的不同要求,選用不同的氣流流型。

6.1.3下列情況之一者,其淨化空調係統宜分開設置:

1運行班次或使用時間不同。
2生產工藝中某工序散發的物質或氣體對其它工序的產品質量有影響。
3對溫、濕度控製要求差別大。
4淨化空調係統與一般空調係統。

6.1.4潔淨室的溫、濕度範圍應符合表6.1.4的規定。

潔淨室的溫、濕度範圍表

6.1.5潔淨室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:

1補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和。
2保證供給潔淨室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3。

6.1.6潔淨區的清掃:一般情況下宜采用移動式高效真空吸塵器;對於1級到5級的單向流潔淨室宜設置集中式真空吸塵係統。潔淨室內的吸塵係統管道應暗敷,吸塵口應加蓋封堵。

6.2潔淨室壓差控製

6.2.1潔淨室與周圍的空間必須維持一定的壓差,並應按生產工藝要求決定維持正壓差或負壓差。

6.2.2不同等級的潔淨室以及潔淨區與非潔淨區之間的壓差,應不小於5Pa,潔淨區與室外的壓差,應不小於10Pa。

6.2.3潔淨室維持不同的壓差值所需的壓差風量,根據潔淨室特點,宜采用縫隙法或換氣次數法確定。

6.2.4送風、回風和排風係統的啟閉應聯鎖。正壓潔淨室聯鎖程序為先啟動送風機,再啟動回風機和排風機;關閉時聯鎖程序應相反。

負壓潔淨室聯鎖程序與上述正壓潔淨室相反。

6.2.5非連續運行的潔淨室,可根據生產工藝要求設置值班送風,並應進行淨化空調處理。

6.3氣流流型和送風量

6.3.1氣流流型的設計,應符合下列要求:

1氣流流型應滿足空氣潔淨度等級的要求。空氣潔淨度等級要求為1~4級時,應采用垂直單向流;空氣潔淨度要求為5級時,應采用垂直單向流或水平單向流。
2空氣潔淨度要求為6~9級時,宜采用非單向流。
3潔淨室工作區的氣流分布應均勻。
4潔淨室工作區的氣流流速應滿足生產工藝要求。

6.3.2潔淨室的送風量,應取下列三項中的最大值:

1為保證空氣潔淨度等級的送風量。
2根據熱、濕負荷計算確定的送風量。
3向潔淨室內供給的新鮮空氣量。

6.3.3為保證空氣潔淨度等級的送風量,按表6.3.3中有關數據進行計算或按室內發塵量進行計算。

潔淨度氣流流型和送風量計算

6.3.4潔淨室內各種設施的布置,應考慮對氣流流型和空氣潔淨度的影響,並應符合下列要求:

1單向流潔淨室內不宜布置潔淨工作台;非單向流潔淨室的回風口宜遠離潔淨工作台。
2需排風的工藝設備宜布置在潔淨室下風側。
3有發熱設備時,應采取措施減少熱氣流對氣流分布的影響。
4餘壓閥宜布置在潔淨氣流的下風側。

6.4空氣淨化處理

6.4.1空氣過濾器的選用、布置和安裝方式應符合下列要求:

1空氣淨化處理應根據空氣潔淨度等級合理選用空氣過濾器。
2空氣過濾器的處理風量應小於或等於額定風量。
3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調係統的正壓段。
4亞高效和高效過濾器作為末端過濾器時宜設置在淨化空調係統的末端;超高效過濾器必須設置在淨化空調係統的末端。
5設置在同一潔淨區內的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率宜相近。
6高效(亞高效、超高效)空氣過濾器安裝前應進行檢漏,安裝應嚴密,安裝方式應簡便、可靠,易於檢漏和更換。

6.4.2對較大型的潔淨廠房的淨化空調係統的新風宜集中進行空氣淨化處理。

6.4.3淨化空調係統設計應合理利用回風。

6.4.4淨化空調係統的風機宜采取變頻措施。

6.4.5淨化空調係統的電加熱器、電加濕器應采取安全保護措施。寒冷地區的新風係統應設置防凍保護措施。

6.5采暖通風、防排煙

6.5.1對8級以上的潔淨室不應采用散熱器采暖。

6.5.2潔淨室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備,應設局部排風裝置。

6.5.3在下列情況下,局部排風係統應單獨設置:

1排風介質混合後能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性和發生交叉汙染。
2排風介質中有毒與無毒,毒性相差很大。
3易燃、易爆與一般排風。

6.5.4潔淨室的排風係統設計,應采取下列措施:

1防止室外氣流倒灌。
2含有易燃、易爆局部排風係統的防火防爆。
3排風介質中有害物濃度及排放量超過國家或地區有害物排放濃度及排放量規定時,應進行無害化處理。
4對含有水蒸氣和凝結性物質的排風係統,應設坡度及排放口。

6.5.5換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產輔助房間,應采取通風措施,其室內的靜壓值,應低於潔淨區。

6.5.6根據生產工藝要求設置事故排風係統。事故排風係統應設自動和手動控製開關,手動控製開關應分別設在潔淨室及潔淨室外便於操作的地點。

6.5.7潔淨廠房疏散走廊,應設置機械防排煙設施。潔淨室機械防排煙係統宜與通風、淨化空調係統合用,但必須采取可靠的防火安全措施,並應符合現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)的要求。

6.6風管和附件

6.6.1淨化空調係統的新風管段應設置電動密閉閥、調節閥;送、回風管段應設置調節閥;潔淨室內的排風係統應設置調節閥、止回閥或電動密閉閥等。

6.6.2下列情況之一的通風、淨化空調係統的風管應設防火閥:

1風管穿越防火分區的隔牆處,穿越變形縫的防火隔牆的兩側。
2風管穿越通風、空氣調節機房的隔牆和樓板處。
3垂直風管與每層水平風管交接的水平管段上。

6.6.3淨化空調係統的風管和調節風閥、高效空氣過濾器的保護網、孔板、擴散孔板等附件的製作材料和塗料,應根據輸送空氣的潔淨度要求及其所處的空氣環境條件確定。

潔淨室內排風係統的風管和調節閥、止回閥、電動密閉閥等附件的製作材料和塗料,應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環境條件確定。

6.6.4淨化空調係統的送、回風總管及排風係統的吸風總管段上,應采取消聲措施,滿足潔淨室內噪聲要求。

淨化空調係統的排風管或局部排風係統的排風管段上,應采取消聲措施,滿足室外環境區域噪聲標準的要求。

6.6.5在空氣過濾器的前後,應設置測壓孔或壓差計。在新風管、送風、回風總管段上,宜設置風量測定孔。

6.6.6風管、附件及輔助材料的選擇應符合下列要求:

1淨化空調係統、排風係統的風管應采用不燃材料。
2排除腐蝕性氣體的風管,應采用耐腐蝕的難燃材料。
3排煙係統的風管應采用不燃材料,其耐火極限應大於0.5h。
4附件、保溫材料、消聲材料和粘結劑等均采用不燃材料或難燃材料。

7  給水排水

7.1一般規定

7.1.1潔淨廠房內的給水排水幹管應敷設在技術夾層或技術夾道內,也可埋地敷設。潔淨室內管道宜暗裝,與本房間無關的管道不宜穿過。

7.1.2管道外表麵可能結露時,應采取防護措施。防結露層外表麵應光滑易於清洗,並不得對潔淨室造成汙染。

7.1.3管道穿過潔淨室牆壁、樓板和頂棚時應設套管,管道和套管之間應采取可靠的密封措施。無法設置套管的部位也應采取有效的密封措施。

7.2給水

7.2.1潔淨廠房內的給水係統應根據生產、生活和消防等各項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求分別設置。管道的設計應留有餘量,以適應工藝變動。

7.2.2水質要求較高的純水供水管道應采用循環供水方式,並應符合下列規定:

1循環附加水量為使用水量的30%~100%。
2幹管流速為1.5~3m/s。
3不循環的支管長度應盡量短,其長度不大於6倍管徑。
4供水幹管上應設有清洗口。
5管道係統各組成部分必須密封,不得有滲氣現象。

7.2.3管材選擇應符合下列要求:

1純水管道的管材必須滿足生產工藝對水質的要求,根據需要可選擇不鏽鋼管和聚氯乙烯(UPVC、CL-PVC)、聚丙烯(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)、聚偏氟乙烯(PVDF)等管材。
2工藝設備用循環冷卻給水和回水管可采用鍍鋅鋼管、不鏽鋼管或工程塑料管。
3管道配件應采用與管道相應的材料。

7.2.4純水和冷卻水管道應預留清洗口。

7.2.5潔淨廠房周圍應設置灑水設施。

7.3排水

7.3.1排水係統應根據工藝設備排出的廢水性質、濃度和水量等特點確定。有害廢水經廢水處理,達到國家排放標準後排出。

7.3.2潔淨室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備,必須在其排出口以下部位設水封裝置,排水係統應設有完善的透氣裝置。

7.3.3潔淨室內的地漏等排水設施的設置應符合下列要求:

1空氣潔淨度等級高於6級的潔淨室內不應設地漏。
2 6級潔淨室內不宜設地漏,如必須設置時應采用專用地漏。
3等於或高於7級的潔淨室內不宜設排水溝。
4等於或高於7級的潔淨室內不應穿過排水立管;其它潔淨室內穿過排水立管時不應設檢查口。

7.3.4潔淨廠房內應采用不易積存汙物、易於清洗的衛生設備、管道、管架及其附件。

7.3.5潔淨廠房宜設置消防排水設施。

7.4消防給水和滅火設備

7.4.1潔淨廠房必須設置消防給水係統,其設計應根據生產的火災危險性、建築物耐火等級以及建築物的體積等因素確定。

7.4.2潔淨廠房的消防給水和固定滅火設備的設置應符合現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)的要求。

7.4.3潔淨室的生產層及上下技術夾層(不含不通行的技術夾層),應設置室內消火栓。消火栓的用水量不小於10L/s,同時使用水槍數不少於2支,水槍充實水柱長度不小於10m,每隻水槍的出水量應按不小於5L/s計算。

7.4.4潔淨廠房內各場所必須配置滅火器,其設計應滿足現行國家標準《建築滅火器配置規範》(GBJ 140)的要求。

7.4.5潔淨廠房內設有貴重設備、儀器的房間設置固定滅火設施時,除應符合現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)的規定外,還應符合下列要求:

1當設置自動噴水滅火係統時,宜采用預作用式自動噴水滅火係統。
2當設置氣體滅火係統時,不應采用鹵代烷1211以及能導致人員窒息和對保護對象產生二次損害的滅火劑。

8  氣體管道

8.1一般規定

8.1.1氣體管道的幹管,應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內,當與水、電管線共架時,應設在其上部。與本房間無關的管道不應穿過。

8.1.2潔淨室的氣體管道及管架宜設裝飾麵板。當有可燃氣體管道時,應敷設在裝飾麵板外側,水平敷設時應在其頂部。

8.1.3高純氣體管道設計應符合下列要求:

1按氣體流量、壓力或生產工藝需要確定管徑,氣體管道最小管徑不小於Φ6×1mm。
2管道係統應盡量短。
3不應出現不易吹除的“盲管”等死角。
4管道係統應設必要的吹除口和取樣口。

8.1.4氣體管道穿過潔淨室牆壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與牆壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。

8.1.5可燃氣體和氧氣管道的末端或最高點應設放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m,並應有防雨、防雜物侵入的措施。可燃氣體還應符合本規範第8.4.2條的要求。

8.1.6氣體淨化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體純度要求進行選擇和配置。氣體終端淨化裝置宜設在鄰近用氣點處。

8.1.7氣體過濾器應根據生產工藝對氣體潔淨度要求進行選擇和配置。高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。

8.1.8進入潔淨廠房的氣體管道控製閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設在氣體入口室。

8.1.9甲類火災危險生產用氣體入口室的設置,應符合下列規定:

1毗連布置時,宜設在單層廠房靠外牆或多層廠房的最上一層靠外牆處。
2應有良好的通風。
3泄壓麵積和電氣防爆應按現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)、《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規範》(GB 50058)的規定執行。

8.2管道材料和閥門

8.2.1氣體管道材料和閥門的選用,應滿足生產工藝對氣體純度、露點的要求和使用特點,並按氣體性質,經技術經濟比較後確定。

8.2.2高純氣體管道和閥門應根據生產工藝要求,按下列規定選用:

1氣體純度大於或等於99.999%,露點低於-76℃,應采用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不鏽鋼管(316L)或內壁電拋光的0Cr18Ni9不鏽鋼管(304)。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
2氣體純度大於或等於99.99%,露點低於-60℃,應采用內壁電拋光的0Cr18Ni9不鏽鋼管(304)。除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外,其它氣體管道宜采用球閥。

8.2.3幹燥壓縮空氣露點低於-70℃,應采用內壁拋光的0Cr18Ni9不鏽鋼管(304);露點低於-40℃,宜采用0Cr18Ni9不鏽鋼管(304)或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

8.2.4閥門材質宜與相連接管道材質相適應。

8.3管道連接

8.3.1氣體管道連接,應符合下列規定:

1管道連接應采用焊接,但熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料應符合本規範第8.3.3條的要求。
2不鏽鋼管應采用氬弧焊,以對接焊或承插焊連接,但高純氣體管道宜采用內壁無斑痕的對接焊。

8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。

8.3.3管道與閥門的連接,應符合下列規定:

1高純氣體管道與閥門連接的密封材料,按生產工藝和氣體特性的要求宜采用金屬墊或雙卡套。
2螺紋或法蘭連接處的密封材料應采用聚四氟乙烯。

8.4安全技術

8.4.1下列部位應設可燃氣體報警裝置和事故排風裝置,報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖:

1甲類火災危險生產的氣體入口室。
2管廊,上、下技術夾層或技術夾道內有可燃氣體管道的易積聚處。
3潔淨室內使用可燃氣體處。

8.4.2可燃氣體管道應設下列安全技術措施:

1接至用氣設備的支管和放散管,應設置阻火器。
2引至室外的放散管,應設防雷保護設施。
3應設導除靜電的接地設施。

8.4.3氧氣管道應設下列安全技術措施:

1管道及其閥門、附件應經嚴格脫脂處理。
2應設導除靜電的接地設施。

8.4.4氣體管道應按不同介質設明顯的標識。

8.4.5各種氣瓶庫應集中設置在潔淨廠房外。當日用氣量不超過1瓶時,氣瓶可設置在潔淨室內,但必須采取不積塵和易於清潔的措施。

9  電氣

9.1配電

9.1.1潔淨廠房低壓配電電壓應采用220/380V。帶電導體係統的型式宜采用單相二線製、三相三線製、三相四線製。係統接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S係統。

9.1.2潔淨廠房的用電負荷等級和供電要求應根據現行國家標準《供配電係統設計規範》(GB 50052)和生產工藝要求確定。主要生產工藝設備由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電,有特殊要求的工作電源宜設置不間斷電源(UPS)。淨化空調係統用電負荷、照明負荷應由變電所專線供電。

9.1.3潔淨廠房的消防用電設備的供配電設計應按現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)規定執行。

9.1.4電源進線(不包括消防用電)應設置切斷裝置,並宜設在潔淨區外便於管理的地點。

9.1.5潔淨室內的配電設備,應選擇不易積塵、便於擦拭的小型暗裝設備,不宜設置大型落地安裝的配電設備。

9.1.6潔淨室內的電氣管線宜暗敷,穿線導管應采用不燃材料。潔淨區的電氣管線管口及安裝於牆上的各種電器設備與牆體接縫處應有可靠的密封措施。

9.2照明

9.2.1潔淨室內照明光源,宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設計要求時,也可采用其它形式光源。

9.2.2潔淨室內一般照明燈具為吸頂明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時,其安裝縫隙應有可靠的密封措施。

潔淨室內不應采用格柵型燈具。

9.2.3無采光窗潔淨區工作麵上的照度值,不應低於表9.2.3規定的數值。

潔淨室照度值標準表

9.2.4無采光窗潔淨區混合照明中的一般照明,其照度值應按各視覺等級相應混合照度值的10%~15%確定,並不低於200lx。

9.2.5潔淨室內一般照明的照度均勻度不應小於0.7。

9.2.6潔淨廠房備用照明的設置應符合下列要求:

1潔淨廠房內應設置備用照明。
2備用照明宜作為正常照明的一部分。
3備用照明應滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。

9.2.7潔淨廠房內應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處應按現行國家標準設置疏散標誌。在專用消防口處應設置紅色應急照明燈。

9.3通信

9.3.1潔淨廠房內應設置與廠房內外聯係的通信裝置。潔淨廠房內生產區與其它工段的聯係,宜設生產對講電話。

9.3.2潔淨廠房根據生產管理和生產工藝特殊需要,宜設置閉路電視監視係統。

9.3.3潔淨廠房的生產區(包括技術夾層)、機房、站房等均應設置火災探測器。潔淨廠房生產區及走廊應設置手動火災報警按鈕。

9.3.4潔淨廠房應設置消防值班室或控製室,其位置不應設在潔淨區內。消防控製室應設置消防專用電話總機。

9.3.5潔淨廠房的消防控製設備及線路連接應可靠。控製設備的控製及顯示功能,應符合現行國家標準《建築設計防火規範》(GBJ 16)及《火災自動報警係統設計規範》(GB 50116)的規定。潔淨區內火災報警應進行核實,並應進行如下消防聯動控製:

1 啟動室內消防水泵,接收其反饋信號。除自動控製外,還應在消防控製室設置手動直接控製裝置。
2 關閉有關部位的電動防火閥,停止相應的空調循環風機、排風機及新風機,並接收其反饋信號。
3 關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門。
4 控製備用應急照明燈和疏散標誌燈燃亮。
5 在消防控製室或低壓配電室,應手動切斷有關部位的非消防電源。
6 啟動火災應急擴音機,進行人工或自動播音。
7 控製電梯降至首層,並接收其反饋信號。

9.3.6潔淨廠房中易燃、易爆氣體的貯存、使用場所,管道入口室及管道閥門等易泄漏的地方,應設可燃氣體探測器。有毒氣體的貯存、使用場所應設氣體檢測器。報警信號應聯動啟動或手動啟動相應的事故排風機。並應將報警信號送至消防控製室。

9.4自動控製

9.4.1潔淨廠房應設置淨化空調係統等的自動監控裝置。

9.4.2潔淨室淨化空調係統風機宜選用變頻調速控製。

9.4.3淨化空調係統電加熱器,應設置無風、超溫斷電保護。若采用電加濕器時應設置無水保護。寒冷地區,新風係統應設置防凍保護措施。

9.5靜電防護及接地

9.5.1潔淨廠房應根據工藝生產要求設靜電防護措施。

9.5.2潔淨室內的防靜電地麵,其性能應符合下列要求:

1地麵的麵層應具有導電性能,並應保持長時間性能穩定。
2地麵的表層應采用靜電耗散性的材料,其表麵電阻率應為1.0×105~1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104~1.0×1011Ω?cm。
3地麵應設有導電泄放措施和接地構造,其對地泄放電阻值應為1.0×105~1.0×109Ω。

9.5.3潔淨室的淨化空調係統,應采取防靜電接地措施。

9.5.4潔淨室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施,其中有爆炸和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規範》(GB 50058)的有關規定。

9.5.5防靜電接地係統,應分別不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格,或閉合的接地銅排環。銅排截麵不應小於100mm2,防靜電接地引線應從等電位的接地網格或閉合銅排環上就近接地連接。接地引線應使用多股銅線,導線截麵不應小於1.5mm2。

防靜電接地係統在接入大地前應設置等電位的防靜電接地基準板,從基準板上引出接地主幹線,其銅導體截麵不應小於95mm2,並應采用絕緣屏蔽電纜。接地主幹線應與設置在防靜電區域內的接地網格或閉合銅排環連接。在防靜電接地係統各個連接部位之間電阻值應小於0.1Ω。

9.5.6潔淨廠房內不同功能的接地係統的設計均應遵循等電位聯結的原則,其中直流接地係統不能與交流接地係統混接。直流工作接地的接地幹線應單獨絕緣敷設,並應使用絕緣屏蔽電纜。直流工作接地的基準電位應取自總等位銅排,接地導線與銅排做單點連接。主幹線截麵不應小於95mm2,支幹線截麵不應小於35mm2。 (原文鏈接:http://www.zzjyly.com/a-61/)

9.5.7接地係統采用綜合接地方式時接地電阻值應小於或等於1Ω;選擇分散接地方式時,各種功能接地係統的接地體必須遠離防雷接地係統的接地體,兩者應保持20m以上的間距。潔淨廠房的防雷接地係統設計應符合現行國家標準《建築物防雷設計規範》(GB 50057)的規定。


附錄A 潔淨廠房生產工作間的火災危險性分類舉例

潔淨廠房生產工作間的火災危險性分類舉例

附錄B 淨化空調係統設計對維護管理的要求

B.0.1潔淨室的淨化空氣,宜按表B.0.1規定進行監測。

潔淨室的淨化空氣監測頻數

B.0.2在下列任何一種情況下,應更換高效空氣過濾器:

1 氣流速度降到最低限度。即使更換初效、中效空氣過濾器後,氣流速度仍不能增大。
2 高效空氣過濾器的阻力達到初阻力的1.5~2倍。
3 高效空氣過濾器出現無法修補的滲漏。

B.0.3當潔淨廠房內采用高效真空吸塵器進行清掃時,必須定期檢查吸塵器排氣口的含塵濃度。


附錄C潔淨室或潔淨區性能測試和認證

C1 通則

C1.1潔淨室或潔淨區應監測並定期進行性能測試,以認證該潔淨室或潔淨區始終符合本規範的要求。

C1.2潔淨室或潔淨區性能測試認證工作,應由專門檢測認證單位承擔,並提交檢測報告。

C1.3測試和認證工作之前,係統應達到穩定運行。測試和監測儀表應在標定證書有效使用期內。


C2 潔淨室或潔淨區性能測試要求

C2.1確認潔淨室或潔淨區符合本規範要求,應進行三項測試:

1空氣潔淨度測試(生物潔淨室應進行浮遊菌、沉降菌測試)。
2靜壓差測試。
3風速或風量測試。

三項測試的最長時間間隔分別列於表C2.1-1、C2.1-2。

潔淨室等級認證的測試要求

C2.2本規範規定了八項洽商選擇的測試項目,列於表C2.2。

潔淨室測試要求表


C3 潔淨室測試方法

C3.1風量或風速測試:

1對於單向流潔淨室,采用室截麵平均風速和截麵乘積的方法確定送風量,取離高效過濾器0.3m垂直於氣流處的截麵作為采樣截麵,截麵上測點間距不宜大於0.6m,測點數不應少於5點,所有讀數的算術平均值作為平均風速。

2對於非單向流潔淨室,采用風口或風管法確定送風量,可按現行國家標準《通風與空調工程施工及驗收規範》(GB 50243)規定的方法執行。

C3.2靜壓差測試:

1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。
2儀器宜采用各種微壓計,儀表靈敏度應小於1.0Pa。

C3.3已安裝過濾器泄漏測試:

1 儀器應使用采樣量大於1L/min的光學粒子計數器。

2 在過濾器上風側引入大於等於0.1μm(0.5μm)的粒子,粒子濃度大於3.5×107pc/m3的大氣塵或其它氣溶膠,在過濾器下風側用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表麵2~3cm處,以5~20mm/s速度移動,並應注意安裝交接處的掃描。

3 評定標準,由受檢過濾器下風側測得的泄漏濃度換算成穿透率,對於高效過濾器,不應大於過濾器出廠合格穿透率的2倍,對於D級高效過濾器不應大於出廠合格穿透率的3倍。

C3.4汙染泄漏測試。

有孔洞相通的不同空氣潔淨度等級相鄰的潔淨室,其洞口處應有合理的氣流流向。用熱球風速計檢測等級高的潔淨室至等級低的潔淨室之間的風速,風速應大於0.2m/s。

C3.5潔淨度的檢測:

潔淨度的檢測要求


C4 監測

C4.1按照協議書規定進行空氣中懸浮粒子濃度和其它參數的常規監測,監測的目的是證實運行狀態下設施的性能。

C4.2協議書中應明確:測量空氣懸浮粒子濃度最少預定的采樣點、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數、測量時間間隔、被計數粒子的粒徑,以及粒子數的限值。

C4.3監測結果超過規定的限值,則認定設施不符合要求,應進行修正,修正後再進行認證檢測。若監測結果在規定限值內,可繼續監測。

C4.4監測儀表應按現行標準進行定期標定。


C5 認證

C5.1按協議書規定及C2的要求,按C3的方法進行測試,若測試結果在規定的限值之內,說明該潔淨室符合規定要求。若測試結果超過規定的限值,說明該潔淨室不符合要求,應進行改進,在完成改進工作之後,應進行再認證。

C5.2對記錄數據評價。空氣潔淨度測試中,當測點在1~10點時,必須計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點的平均粒子濃度導出95%置信上限值;采樣點超過10點時,可用算術平均值,達到空氣潔淨度等級限值。

C5.3每次性能測試或再認證測試應做記錄,並提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容:

1測試機構的名稱、地址。
2測試日期和測試者簽名。
3執行標準的編號及標準出版日期。
4被測試的潔淨室或潔淨區的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。
5被測潔淨室或潔淨區的空氣潔淨度等級、被測粒徑(或沉降菌、浮遊菌)、被測潔淨室所處的狀態、氣流流型和靜壓差。
6測量用的儀器的編號和標定證書;測試方法細則及測試中的特殊情況。
7測試結果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度(或沉降菌、浮遊菌的菌落數)。
8對異常測試值進行說明及數據處理。
9注明上次的測試日期。
10設施的測試文件可作為下次監測計劃的依據。

C5.4測試機構應提交潔淨室檢驗證書、再檢驗證書。


C6 記錄

C6.1記錄保存應遵照質量控製程序的要求。

C6.2應按常規或定期的測試方法和儀表檢測,將初始觀察記錄、計算、數據處理和最終報告,並應有測試評價和報告人員簽名和日期,存檔。


本規範用詞說明

1執行本規範條文時,對於要求嚴格程度的用詞說明如下,以便執行中區別對待。

(1)表示很嚴格,非這樣做不可的用詞:
正麵詞采用“必須”;反麵詞采用“嚴禁”。

(2)表示嚴格,在正常情況下均應這樣做的用詞:
正麵詞采用“應”;反麵詞采用“不應”或“不得”。

(3)表示允許稍有選擇,在條件許可時首先應這樣做的用詞:
正麵詞采用“宜”;反麵詞采用“不宜”。

表示有選擇,在一定條件下可以這樣做的用詞,采用“可”。

2規範中指定必須按其它有關標準、規範執行時,寫法為“應按……執行”或“應符合……要求或規定”。

非必須按所指定的標準和規範執行的寫法為“可參照……”。


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